ÖZET Anahtar Kelimeler : Kirletici, Temiz Oda, Laminer Hava Akımı Bir çok alanda teknolojinin gelişmesiyle birlikte hava kirlilik kontrolü sorunları ortaya çıkmış, buna karşı başlatılan sistematik çalışmalar neticesinde, sistemin hayati bir parçası olarak temiz oda kavramı oluşmuştur. I960' lı yıllardan buyana uzay araştırmaları programında ve öte yandan nükleer teknolojinin gelişmesinde ve bu bağlamda önemi son derece artmış bulunan komponentlerde tam bir güvenirliğin sağlanması zorunlu görülmüştür. İnsan ve teknolojik proseslerden oluşan partikül yoğunluklarının özellikle modern elektronik, optik, ince mekanik, CD, videoband, fotofılm ve ilaç üretim endüstrisinde havanın olağanüstü temiz olması gerekmektedir. Temiz oda tasarımı ve projelendirilmesi ile ilgili bir çok kaynak ve teknik yayın bulunmasına karşın, bunları işletecek eğitilmiş teknik eleman ihtiyacına paralel, eğitimlerinde kullanılacak kapsamlı yayınlar bulmak pek kolay olmamaktadır. Aranan özellikler iyi anlaşılmadığı takdirde, uygun temiz odalar yapmak mümkün olmayacaktır. Bu nedenle temiz odalarda ne üretileceğinin ve bunun oda yerleşim planlarını ve iç hava kalitesini nasıl etkileyeceğinin göz önüne alınması gerekmektedir. İç hava kalitesinde olması gereken parametrelerden iç hava temizlik şartlanmn sağlanabilmesi için personel, proses cihazları ve yüzeylerden gelen kirlenme, ve bunların giderilmesi yöntemlerini, kullanılan hava besleme difüzör ve menfezleri, havalandırma kriterleri, odaların basınçlandınlması ve odalar arası hava akışı kontrolü, hava akış miktarları hesap yöntemleri, sıcaklık farklılıklarının odalar arası hava akış miktarlarına etkisi araştırılacaktır. XII
CLEAN ROOM SYSTEM DESIGN AND OPERATION SUMMARY Key Words : Contaminant, Clean Room, Laminar Air Current Along with the technological developments at many fields, air pollution problems have occured and as a, result of some systematic projects against these, clean room concept has been generated. Since 1960s, at space investigations program and nuclear developments, exact security is a must for the highly security components. Particul intensity generated by human and technological processes, especially at electronics, optics, mechanics, CD, videoband, photofilm and drugs industries, the air must be enourmously clean. Although there are several sources about clean room desgning and projects, trained staff and comprehensive publishments for managing these are not common. If the features are not understood fine, it's not possible to build clean rooms. Thefore, it's important to consider what is going to be produced and how these materials effect the internal air quality of the room. For internal air cleanliness to be obtained, staff, process devices and surface poiution and the eradication methods, the air feeding diffusers and holes, ventilation criteria, pressuring and air current between rooms, air current amounts calculation methods and how temperature differences effect the air current amount are important factors. xni
