Bu çalışmada, spin kaplama yöntemiyle üretilmiş saf ve Al katkılı ZnO ince filmler ve bu filmlerin optik ve mekanik özellikleri ele alınmıştır.İlk bölümde amorf ve kristal yapılar hakkında bilgi verilmiştir. İkinci bölümde ince film kaplama teknikleri detaylı olarak ele alınmıştır. Bu tezin üçüncü bölümünde 1990-2009 yılları arasındaki yapılmış ZnO ince filmler hakkındaki bilimsel çalışmalar özetlenmiştir.Yapılan deneysel çalışma sonuçlarının ifade edildiği dördüncü bölümde ise, saf ve Al katkılı ince filmlerin hazırlanması/üretilmesi ve bunların mekanik ve optik özelliklerine ait spektrumlar ile bu spektrumlara ait yorumlar verilmiştir. Bu bölümün sonunda çalışılan konuya ait yapılabilecek iyileştirmelerden bahsedilmiştir.Anahtar kelimeler: İnce film; Al:ZnO ince film kaplama; ZnO; amorf yapı; kristal yapı, optik spektrum; XRD; SEM.
In this thesis pure and Al-doped ZnO thin films are produced using spin coater and their optical and mechanical properties have been evaluated.At the first chapter we have briefly introduced the crystal and amorphous structures. Chapter two is devoted to the methods that are being used in the production of the thin films. In the chapter three we have summarised the literature about the ZnO thin films that has been made to day from 1990.In the fourth chapter we have given the experimental results about the pure and doped ZnO thin films prepared by using spin coater. The absorption, SEM and XRD spectra have been evaluated in this chapter. At the end of the chapter we have given a brief proposal about the future work and improvements about these kind of thin film production processes.Keywords: Thin films; Al:ZnO thin film coatings; amorphous structure; crystal structure; optical spectra; XRD; SEM.
