Bu çalışmada, spin kaplama yöntemiyle üretilmiş saf, değişik kalınlıklardaki ZnO ince filmler ve bu filmlerin optik ve mekanik özellikleri ele alınmıştır.Bu tezin ilk bölümünde amorf ve kristal yapılar hakkında bilgi verilmiştir. İkinci bölümde ince film kaplama teknikleri kısaca incelenmiştir. Üçüncü bölümde 1990-2009 yılları arasındaki ZnO ince filmler ile ilgili yapılmış bilimsel çalışmalar özetle sunulmuştur.Deneysel çalışma sonuçlarının ifade edildiği son bölümde ise, farklı kalınlıklarda üretilmiş ince filmlerin hazırlanması/üretilmesi, bunların mekanik ve optik özelliklerine ait spektrumlar verilmiş ve bu spektrumlara ait yorumlarda bulunulmuştur. Bu bölümün sonunda ileri çalışmalara yön vermek üzere birtakım öneriler ifade edilmiştir.
In this thesis ZnO thin films in different thicknesses are produced using spin coater and their optical and mechanical properties have been evaluated.At the first chapter we have summarised the crystal and amorphous structures. In the chapter two we have given a brief information about the methods that are being currently used in the production of the thin films. In the chapter three we have made a summary for the literature about the ZnO thin films that has been made between the year 1990 to 2009.In the fourth chapter we have given the experimental results about ZnO thin films prepared in different thicknesses by using spin coater. The absorption, SEM and XRD spectra have been evaluated in this chapter. At the end of the chapter we have given a brief proposal about the future work.
