Magnezyum katkılı yarı iletken ince filmlerin optik özellikleri

Abstract

Bu çalışmada, farklı yüzdelerde Mg katkılanmış ZnO ince filmler mikroskop altlıklar üzerine spin kaplama yöntemiyle kaplanmış ve bu filmlerin mekanik ve optik özellikleri incelenmiştir. Ayrıca bu ZnO ince filmler belli sıcaklıklarda tavlandıktan sonra, elde edilen filmlere ait fiziksel özellikler belirlenmeye çalışılmıştır. Giriş bölümünden sonraki ikinci bölümde amorf ve kristal yapılar hakkında kısa bilgi verilip ince film kaplama teknikleri kısaca ifade edilmiş ve çalışmanın deneysel olan ilk bölümünde (Bölüm 3) farklı yüzdelerde Mg katkılanan ZnO ince filmlere ait sonuçlar ifade edilmiştir. Bu ZnO ince filmlerin XRD, SEM, UV-Vis sonuçları verilmiş ve yorumlanmıştır. Son bölümde ileri çalışmalar için önerilerde bulunulmuştur. Anahtar kelimeler: İnce film, ZnO ince film kaplama, Molarite, Mg katkılama, Amorf yapı, Kristal yapı, Optik spektrum, XRD, SEM.

In this study, Mg-doped ZnO thin films in different percentages were coated on microscope substrates by spin coating method and then the mechanical and optical properties of these films were investigated. Furthermore, after these ZnO thin films annealed at certain temperatures, the physical properties of the obtained films were tried to be determined. In the second section after the introduction chapter, a brief information about amorphous and crystal structures is given, and thin film coating techniques are expressed and the results of ZnO thin films doped with Mg at different percentages are expressed in the first experimental section of the work (Chapter 3). XRD, SEM, UV-Vis results of these ZnO thin films were given and interpreted in this chapter. In the last section, suggestions were made for further studies. Keywords: Thin films, ZnO coatings, molarity, Mg doped, amorphous structure, cyrstal structure, optical spectra, XRD, SEM.