İyon implantasyonu, PVD, aşınma, triboloji, mikrosertlik, sürtünme. 316 L Paslanmaz Çelik üzerine sırasıyla Azot, Zirkonyum ve Titanyum nitrür implantasyonu yapılmış ve yüzeyi modifıye olmuş bu malzemelerin, sertlik aşınma ve sürtünme değerleri iyileştirilmiş, birbirine göre üstünlükleri belirlenmiştir. Yapılan çalışmalar sonucunda ana malzemenin sertlik değerine göre implante edilmiş yüzeyde büyük artış olduğu gözlemlenmiştir. Aşınma ve sürtünme değerlerinde de düşüşler görülmüştür. Aynı malzeme üzerine yapılan, bir diğer yüzey modifikasyonu olan, PVD ile Titanyum nitrür ve Tinalox kaplamalarda sertlik değerinde artışlar olduğu tespit edilirken sürtünme ve aşınma değerlerinde de düşüşler olduğu saptanmıştır. Yukarıda anlatılan hususlardaki kazanımlar malzeme yüzeyinin modifikasyonunun doğal bir sonucudur.
Modification of Material Surface by Ion Beam Implantation Technique and Comparison with PVD Keywords: Ion implantation, PVD coating, wear, tribology, microharness, friction. 316 L Stainless Steel samples implanted with N, TiN and Zr. After implantation, these implanted samples had high hardness values, their wear resistance increased, friction coefficient decreased. The results showed that surfaces hardness of implanted samples were greatly increased with respect to unimplanted ones. On the other hand, their wear and friction values is seen decrease. Samples coated with TiN and Tinalox by PVD technique. Also showed increase in hardness values as the coefficient of friction decreased.. The advantages mentioned above are the result of surface modification of materials by Ion Beam Implantation and PVD coating technique. XI
