Bu tez iki ana bölümden oluşmaktadır. Bunlardan birincisi Au(111) alttaş üzerinde bir süpersonik demet ile büyütülen dekantiyol ve merkaptoundekanol (MUD) kendiliğinden düzenlenmiş tektabakalar, diğeri ise yine süpersonik bir demetle düz ve basamaklı gümüş alttaş üzerinde büyütülen pentasen kendiliğinden düzenlenmiş tek tabaka filmlerdir. Bu örneklerin tümünden elde edilen film tabakaları helyum kırınım metoduyla incelenmişlerdir. Bu çalışmada dekantiyol ve MUD birim hücrelerinin sırasıyla 11x ve 11,8x çizgili faz yapılarına ait olduğu gözlemlenmiştir. Tiyollerden büyütülen filmler alttaşın yüzeyine fiziksel ve kimyasal tutunan fazları incelemek için düşük ve yüksek sıcaklıklara tavlanmışlardır. Düz ve basamaklı gümüş alttaş yüzeyinde helyum ve kripton taşıyıcı gazlar sayesinde büyütülen pentasen kendiliğinden düzenlenmiş tek tabaka filmlerin ise düz ve basamaklı yüzeylerdeki büyüme dinamikleri incelenmiştir.
This thesis has two main chapter. One of them is decanethiol and mercaptoundecanol (MUD) SAMs grown by a supersonic beam on Au(111) substrat, and the other one is pentacene SAMs grown by a supersonic beam on flat and vicinal silver surfaces. All the samples have been studied by using He diffraction. In this study, 11x and 11,8 x unit cell structures have been investigate for decanethiol and MUD striped pahese respectively. Films were also annealed to low and high temperatures in order to investigate physisorbed and chemisorbed phases. Pentacene SAM films were grown on flat and vicinal silver surfaces thanks to carrier helium and krypton gases and were studied in order to understand their self-assembling dynamics on vicinal and flat surfaces.