Dereshgi, Hamid Asadi
(Sakarya Üniversitesi, 2019)
Geçtiğimiz birkaç on yılda, mikro-elektro-mekanik sistemler (MEMS) teknolojilerindeki gelişmeler, çeşitli fonksiyonlarda mikroakışkan cihazların hızlı gelişimine katkıda bulunmuştur. MEMS'teki önemli elemanlardan biri, ...